薄膜物理與技術(shù)
本文檔由 精品庫 分享于2012-10-22 11:23
真空科學(xué)與技術(shù) 1. 真空的基本知識 2. 真空的獲得（各種真空泵原理、結(jié)構(gòu)及應(yīng)用） 3. 真空的測量原理 4. 真空系統(tǒng)的組成、檢漏及流導(dǎo)的計算
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