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集成電路銅互連中鉭硅氮擴(kuò)散阻擋層的制備及其阻擋特性研究

本文檔由 DodoDown 分享于2010-04-15 13:58

集成電路銅互連中鉭硅氮擴(kuò)散阻擋層的制備及其阻擋特性研究
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SiCN 集成電路 ULSI 特性 CMP 制備 互連 研究
系統(tǒng)標(biāo)簽：
擴(kuò)散阻擋層 阻擋 硅氮 集成電路 互連 制備
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