微電子工藝基礎(chǔ)-外延工藝
本文檔由 lkfine 分享于2010-11-29 17:11
1、了解相圖和固溶度的概念2、了解外延技術(shù)的特點和應(yīng)用3、掌握外延的分類4、掌握氣相外延的原理、步驟5、了解分子束外延的實現(xiàn)方式和優(yōu)點
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